Numéro |
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 8, Numéro 2, juin 1973
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Page(s) | 105 - 116 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/rphysap:0197300802010500 |
DOI: 10.1051/rphysap:0197300802010500
Distributions énergétiques des ions secondaires
G. Blaise et G. SlodzianLaboratoire de Physique des Solides associé au CNRS Bât. 510, Université Paris-Sud-Centre d'Orsay, France
Abstract
The energy distributions of secondary ions are analysed with the help of the electrostatic mirror that equips the ion microanalyser. The results concern primarely M+ and M+n ions emitted by pure metals and alloys bombarded with A+ primary ions. Differences in the low energy range of the distributions, below 20 eV, are demonstrated.
Résumé
Les distributions énergétiques des ions secondaires ont été analysées par une méthode de contre-champ au moyen du miroir électrostatique qui équipe le micro-analyseur ionique. Les résultats présentés concernent essentiellement les ions M+ et M+n provenant de métaux et d'alliages bombardés par des ions primaires A+. L'accent est mis sur les aspects très différents des distributions des ions de faible énergie, inférieure à 20 eV environ.
7920 - Surface impact phenomena.
Key words
secondary ion emission -- energy distribution -- secondary ions -- electrostatic mirror -- ion microanalyser