Rev. Phys. Appl. (Paris) 9, 179-181 (1974)
DOI: 10.1051/rphysap:0197400901017900

Ion beam machining of niobium weakly superconducting microbridges

R. Adde¹, P. Crozat¹, S. Gourrier¹, G. Vernet¹, M. Bernheim² et D. Zenatti<sup>3

1</sup>  Institut d'Electronique Fondamentale, Laboratoire associé au CNRS Bâtiment 220, Université Paris XI, 91405 Orsay, France
²  Laboratoire de Physique des Solides Bâtiment 510, Université Paris XI, 91405 Orsay, France
³  LETI-DINR, Centre d'Etudes Nucléaires, Cedex 85, 38041 Grenoble, France

Abstract
Superconducting microbridges of hard superconductors can be realized reproducibly using an ion bombardment technique. The micromachining is obtained directly by focussing onto the superconducting film a reduced ionic image which represents the structure to be machined. We describe and discuss the superconducting properties of niobium Josephson microbridges fabricated using this technique : critical temperature, normal resistance, I-V characteristic, dc magnetic field effect and microwave field effect. Microbridges with an operating temperature of 4.2 K have been realized.

Résumé
On présente une technique reproductible de fabrication de microponts supraconducteurs applicable aux supraconducteurs « durs » (Ta, V, Nb) par bombardement ionique. L'usinage des microponts est obtenu globalement en formant sur un fil mince supraconducteur une image ionique réduite représentant la structure à usiner. Les propriétés de microponts Josephson en niobium sont ensuite décrites : température critique, résistance normale, caractéristique (I-V), action d'un champ magnétique continu et d'un champ hyperfréquence.

PACS
8525A - Superconducting device characterization, design, and modeling.

Key words
Machining -- Ion beams -- Fabrication -- Superconductor circuit -- Electric bridges -- Superconducting transitions -- Electrical conductivity -- Voltage current curve -- Microwave field -- Niobium -- Experimental study