Rev. Phys. Appl. (Paris) 9, 355-359 (1974)
DOI: 10.1051/rphysap:0197400902035500

Spectroscopie optique en cathodoluminescence au microscope électronique à balayage

J. Semo

Centre National d'Etudes des Télécommunications, Département PEC/CCM, 196, rue de Paris, 92220 Bagneux, France

Abstract
The cathodoluminescence studied by Scanning Electron Microscopy is particularly suitable to the investigation of wide band gap semiconductors. The interpretation of the factors affecting contrast on cathodoluminescence micrographs using polychromatic light being often difficult, the realization of a monochromator allowing the analysis of the emitted radiation appeared to be advisable. The first results here obtained bear out the interest of such an apparatus.

Résumé
La cathodoluminescence en microscopie électronique à balayage est particulièrement bien adaptée à l'étude des semiconducteurs à large bande interdite. La nature du contraste des images obtenues en lumière polychromatique étant d'une interprétation souvent difficile, la réalisation d'un spectroscope permettant l'analyse du rayonnement émis s'est montrée souhaitable. Les premiers résultats obtenus confirment l'intérêt d'un tel dispositif.

PACS
0780 - Electron and ion microscopes and techniques.
7860H - Cathodoluminescence, ionoluminescence condensed matter.
2390 - Electron and ion microscopes.

Key words
electron microscope examination of materials -- semiconductors -- optical spectroscopy -- cathodoluminescence -- scanning electron microscopy -- wide band gap semiconductors -- polychromatic light -- monochromator -- contrast factors