Rev. Phys. Appl. (Paris) 9, 419-425 (1974)
DOI: 10.1051/rphysap:0197400902041900

Some developments in S.E.M. instrumentation

J.A. Venables, B.W. Griffiths, C.J. Harland et K.H. Ecker

School of Mathematical and Physical Sciences, University of Sussex, Brighton BN 19 QH, Sussex, England

Abstract
Work at the University of Sussex involving instrumental developments in scanning electron microscopy is reviewed. The apparatus developed includes a versatile channel plate detector and a liquid helium cooled stage. Some results obtained using this equipment are described. A new technique for obtaining crystallographic information in conjunction with scanning microscopy is described, and shown to have several advantages over previous techniques. The detection sensitivity of X-ray microprobe analysis for very thin layers has been explored and is found to be about 10-3 monolayers using wave-length dispersive detection and 10-1 monolayers using an energy-dispersive detection system commercially available for use with a scanning microscope.

Résumé
On rappelle les travaux effectués récemment à l'Université de Sussex sur les développements instrumentaux en microscopie électronique à balayage. Les appareils mis au point comportent un détecteur universel du type « channel plate » et une platine refroidie à l'hélium liquide. On décrit une nouvelle technique qui fournit en conjonction avec la microscopie à balayage des informations cristallographiques, et on montre qu'elle présente plusieurs avantages sur les techniques antérieures. On a étudié la sensibilité de détection en microanalyse par émission X sur des couches très minces, et on l'a trouvé égale à environ 10-3 monocouche par spectrométrie dispersive et à 16-1 monocouche par spectrométrie non dispersive avec un détecteur commercial.

PACS
0780 - Electron and ion microscopes and techniques.
2390 - Electron and ion microscopes.

Key words
electron microscopes -- electron microscopy -- X ray detection and measurement -- SEM instrumentation -- crystallographic information -- detection sensitivity -- X ray microprobe analysis -- thin layers -- channel plate detector -- liquid He cooled stage -- wave length dispersive detection -- energy dispersive detection