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Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 11, Numéro 1, janvier 1976
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| Page(s) | 127 - 130 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/rphysap:01976001101012700 | |
DOI: 10.1051/rphysap:01976001101012700
Étude en microscopie à balayage des dégâts d'irradiation causés dans LiF par bombardement ionique
A. Perez1, J. Davenas1, P. Thevenard1, C.H.S. Dupuy1, P. Morin2 et E. Vicario21 (Groupe de Radiolyse et Radiométrie des Matériaux), Département de Physique des Matériaux associé au C. N. R. S. Université Claude-Bernard Lyon I, 69621 Villeurbanne, France
2 (Groupe de Microscopie Electronique quantitative), Département de Physique des Matériaux associé au C. N. R. S. Université Claude-Bernard Lyon I, 69621 Villeurbanne, France
Abstract
A scanning electron microscope supplied with a discharge system for the observation of insulating samples has permit to observe LiF crystals bombarded with 2 MeV protons and 56 MeV chlorine ions. The irradiated zone shows a clear contrast which allows a direct measure of the penetration depth of the incident ions. This contrast has been attributed to the F and F-agglomerate centers which are also revealed by means of optical absorption measurements. The implanted ions can also be revealed in the stopping zone by means of the chemical contrast due to the variation of the mean atomic number of the target in this region.
Résumé
Un microscope électronique à balayage équipé d'un système de décharge pour l'observation des échantillons isolants nous a permis d'étudier des cristaux de LiF bombardés avec des protons de 2 MeV et des ions chlore de 56 MeV. La zone irradiée présente un contraste clair qui permet une mesure directe des profondeurs de pénétration des ions. Le contraste peut être attribué à la présence des Centres colorés du type F et agglomérats de F qui sont également révélés par l'étude des spectres d'absorption optique. Les ions implantés peuvent être également révélés en fin de parcours par l'intermédiaire du contraste chimique dû à la variation du numéro atomique moyen de la cible dans cette région.
6180J - Ion radiation effects.
Key words
centre fRadiation effects -- Ion beams -- Proton beams -- Image contrast -- Penetration depth -- SEM -- Irradiation defect -- Lithium fluorides -- F centers -- Color centers -- Defect clusters -- Experimental study