Rev. Phys. Appl. (Paris) 12, 1219-1222 (1977)
DOI: 10.1051/rphysap:019770012090121900

Étude de transferts d'excitation dans un plasma induit par haute fréquence entre gaz plasmagène et éléments introduits

J.M. Mermet et C. Trassy

Laboratoire de chimie industrielle et analytique bt 401, Institut National des Sciences Appliquées 20, avenue A.-Einstein, 69621 Villeurbanne Cedex, France

Abstract
Studies of injected elements in an inductively coupled argon plasma working at atmospheric pressure show a departure from L. T. E. This is confirmed by the discrepancies between the ionization temperature and the excitation temperatures. The excitation of some lines of these elements can be explained through the action of metastable levels of neutral and ionized argon. An atomic absorption experiment using a two-line method has been set up in order to measure the metastable densities.

Résumé
L'étude de l'excitation des éléments injectés dans un plasma d'argon induit par haute fréquence à la pression atmosphérique montre que l'hypothèse de l'E. T. L. n'est pas vérifiée. Ce fait est confirmé par la différence obtenue entre la température d'ionisation et celles d'excitation. L'excitation de certaines raies des éléments injectés peut s'expliquer par l'action des métastables de l'argon neutre et de l'argon ionisé. C'est pourquoi une méthode d'absorption atomique à deux longueurs d'onde a été mise au point qui permet d'effectuer la mesure des densités de métastables.

PACS
5220H - Atomic, molecular, ion and heavy particle collisions in plasma.
5225L - Plasma temperature and density.
5270K - Optical ultraviolet, visible, infrared plasma diagnostic techniques.

Key words
argon -- plasma collision processes -- plasma diagnostics -- plasma impurities -- excitation transfer -- plasmagene gas -- injected elements -- high frequency produced plasma -- atmospheric pressure -- ionization temperature -- excitation temperatures -- metastable levels -- atomic absorption experiment -- metastable densities -- LTE departure -- inductively coupled Ar plasma -- two line method