Rev. Phys. Appl. (Paris) 19, 69-76 (1984)
DOI: 10.1051/rphysap:0198400190206900

Bases physiques et performances des nouveaux (micro)capteurs magnétiques à semiconducteur

A. Chovet et S. Cristoloveanu

Laboratoire de Physique des Composants à Semiconducteur ENSERG, 23, rue des Martyrs, 38031 Grenoble Cedex, France

Abstract
A synthesis on semiconductor magnetic sensors based on the concentration of charge carriers by a magnetic field is presented. Physical principles of magnetoconcentration and magnetodiode effects are reminded before giving last results on device improvement. The main features of sensors made from different semiconductors are given with a special attention to integrated micromagnetodiodes made with silicon on sapphire technology. The important parameters for the best working (sensitivity, noise) in a wide range of temperature are displayed.

Résumé
Nous présentons ici une synthèse sur les capteurs magnétiques à semiconducteur développés dans notre laboratoire et utilisant l'effet de concentration des porteurs par un champ magnétique. Après avoir rappelé les principes physiques des effets de magnétoconcentration ou magnétodiode, nous donnons les derniers résultats relatifs à l'optimisation des performances. L'accent est mis davantage sur les aspects pratiques que sur des développements à caractère théorique. Nous donnons aussi les principales caractéristiques des capteurs réalisés sur divers matériaux et, en particulier, celles concernant les micromagnétodiodes intégrées avec la technologie silicium sur corindon. Nous dégageons les paramètres importants pour un fonctionnement optimal (sensibilité, bruit) dans une large gamme de température.

PACS
3120W - Other magnetic material applications and devices.
7230 - Sensing devices and transducers.

Key words
electric sensing devices -- elemental semiconductors -- sapphire -- silicon -- SOS technology -- sensitivity -- noise -- semiconductor magnetic sensors -- charge carriers -- magnetoconcentration -- magnetodiode effects -- integrated micromagnetodiodes