Obtention d'un plasma de forte densité (5 x 1011cm-3) dans une décharge multipolaire de grande dimension

Abstract
A multipolar discharge has been constructed to produce a high density plasma either uniform or with a one-dimensional density gradient. The main characteristics of the discharge are : volume of the order of 1 m3, pressure of argon (He, Ar, N2) between 10-5 torr and 10-3 torr, electronic density less than 5 x 1011 cm-3, electron temperature between 3 and 6 eV, relative density fluctuations of the order of 10-3.

Résumé
On décrit les caractéristiques et le fonctionnement d'une décharge multipolaire de grande dimension permettant d'obtenir un plasma de densité élevée, présentant ou non un gradient unidimensionnel de densité. Le plasma est produit dans un volume de l'ordre du m3, dans de l'argon (He, Ar, N2) avec les caractéristiques suivantes : pression entre 10-5 et 10-3 torr, densité électronique inférieure à 5 x 1011 cm-3, température électronique comprise entre 3 et 6 eV, fluctuation relative de densité de l'ordre de 10 -3.