Rev. Phys. Appl. (Paris) 3, 360-364 (1968)
DOI: 10.1051/rphysap:0196800304036001

Microanalyseur ionique

Georges Slodzian

Laboratoire de Physique des Solides associé au C.N.R.S., Bâtiment 2I0, Faculté des Sciences d'Orsay, Essonne

Abstract
Here we describe a method of local analysis based on the emission of characteristic ions ejected from a solid sample bombarded by an ion beam of a few keV. It is possible either to get a distribution image of one micron resolution or to perform an analysis in depth with a resolution of 100 Å by a gradual sputtering of the sample. All the elements can be analysed.

Résumé
La méthode d'analyse locale décrite ci-dessous repose sur le phénomène d'émission d'ions caractéristiques arrachés à une cible solide par le bombardement d'un faisceau de particules de quelques kiloélectron-volts d'énergie. On peut soit obtenir directement des images de distribution avec une résolution d'un micron, soit, en pulvérisant graduellement l'objet, l'analyser tranche par tranche avec une résolution en profondeur de l'ordre de 100 Å. Tous les éléments peuvent être analysés.

PACS
8170J - Chemical composition analysis, chemical depth and dopant profiling.

Key words
Ion microanalysis -- Surface layers -- Concentration distribution -- Operation -- High-resolution methods -- Depth resolution -- Investigation method -- Experimental study