Rev. Phys. Appl. (Paris) 6, 65-89 (1971)
DOI: 10.1051/rphysap:019710060106500

Étude des aberrations du second ordre du microanalyseur ionique et de quelques autres systèmes destinés au filtrage d'images étendues

M. Leleyter et G. Slodzian

Faculté des Sciences, 33, rue Saint-Leu, Amiens, Somme Laboratoire de Physique des Solides associé au C. N. R. S., Bâtiment 510, Faculté des Sciences d'Orsay, Essonne

Abstract
By geometrical means we have computed the second-order aberrations on the images of broad objects given by several dispersive systems, specially those occurring in the ion microanalyzer which is composed by a double homogeneous magnetic prism associated with an electrostatic mirror. The most important second-order aberrations are field-astigmatism and chromatic aberrations. It has been found that the minimum aberration was reached at a given position of the object. In the case of the ion microanalyzer, from our estimations, the overall aberration at that position is about 0.3 μ at the edge of a 200 μ-field in the object space when the emission lens is apertured with a 400 μ-diaphragm which allows a resolving limit of 1 μ.

Résumé
On calcule géométriquement les aberrations du second ordre entachant les images d'objets étendus donnés par quelques systèmes dispersifs, notamment, celles du microanalyseur ionique constitué par un double prisme magnétique à champ uniforme associé à un miroir électrostatique. Les aberrations du second ordre les plus importantes sont les aberrations géométriques de champ et les aberrations chromatiques. On cherche à les minimiser en déterminant par le calcul la meilleure position de l'objet. Dans le cas du microanalyseur ionique, on trouve que l'aberration totale, ramenée au plan de l'objet, est de l'ordre de 0,3 μ sur les bords d'un champ image de 200 μ lorsque la lentille à émission est munie d'un diaphragme de contraste de 400 μ qui permet d'obtenir une limite de résolution de 1 μ.

PACS
4180G - Ion beams and ion optics.
5150 - Moving charges in electric and magnetic fields.

Key words
aberrations -- ion beams -- ion optics -- second order -- field astigmatism -- ion microanalyzer -- chromatic