Rev. Phys. Appl. (Paris) 19, 27-31 (1984)
DOI: 10.1051/rphysap:0198400190102700

Performances d'une sonde atomique à temps de vol

C. Martin, D. Blavette et J.M. Sarrau

Groupe de Métallurgie Physique, ERA 258, UER des Sciences et des Techniques de Rouen, BP 67, 76130 Mont Saint Aignan, France

Abstract
The performances of a time of flight atom-probe are described. The specimen is cooled with the help of a cryogenerator and the pulse coupling on the tip is achieved with a nearby ring. The time of flight measurement is made with a precision of 2.5 ns. Experimental results show that the mass resolution is acceptable even for short flight paths. The acquisition system is briefly described and an evaporation voltage control system is submitted.

Résumé
Les performances d'une sonde atomique à temps de vol sont décrites. L'échantillon est refroidi par un cryogénérateur et le couplage de l'impulsion sur la pointe est effectué par un anneau placé à proximité. La mesure du temps de vol est faite à 2,5 ns près. Des résultats expérimentaux montrent que la résolution en masse est acceptable même pour des faibles longueurs de vol. Après avoir décrit succinctement le système d'acquisition de la sonde, un dispositif de contrôle de la tension d'évaporation est présenté.

PACS
0780 - Electron and ion microscopes and techniques.

Key words
atom probe field ion microscopy -- time of flight atom probe -- cryogenator -- pulse coupling -- mass resolution -- acquisition system -- evaporation voltage control system