Numéro
Rev. Phys. Appl. (Paris)
Volume 23, Numéro 10, octobre 1988
Page(s) 1701 - 1710
DOI https://doi.org/10.1051/rphysap:0198800230100170100
Rev. Phys. Appl. (Paris) 23, 1701-1710 (1988)
DOI: 10.1051/rphysap:0198800230100170100

High resolution X-ray scattering studies of substrates and multilayers

F.E. Christensen

Danish Space Research Institute, Lundtoftevej 7, 2800 Lyngby, Denmark


Abstract
High resolution X-ray scattering measurements on multilayer substrates and surfaces are reviewed. It is shown that the usual substrates of float glass and Si-wafers are dominated by large scale figure error, whereas samples of super polished SiC substrates are comparable in flatness and roughness to state-of-the-art test flats from current X-ray telescope programs. Likewise high resolution X-ray scattering from periodic multilayer structures is reviewed. It is demonstrated that the large scale figure error of the substrate has a profound effect on low resolution measurements. High resolution studies of specific multilayers reveal in a single case of a W/Si multilayer on a Si-wafer an essentially perfect layering.


Résumé
On rappelle d'abord le principe des études de rugosités des surfaces à l'aide de la diffusion des rayons X par réflectivité sous incidence rasante ; on examine aussi celui des miroirs interférentiels multicouches. A l'aide de cette technique d'étude on montre que le float glass et les tranches de silicium possèdent des défauts importants de planéité, alors que des supports de SiC superpolis ont une planéité et des rugosités comparables à celles des substrats plans préparés pour les télescopes X. On montre que les défauts de planéité des supports ont des effets notables sur l'efficacité des miroirs X multicouches. Enfin ces études de diffusion X sous incidence rasante sont employées pour caractériser une multicouche W/Si de très bonne qualité préparée sur une tranche de silicium.

PACS
0785 - X ray, gamma ray instruments and techniques.
6110F - Experimental X ray diffraction and scattering techniques.
0130R - Reviews and tutorial papers: resource letters.

Key words
optical films -- reviews -- X ray scattering -- multilayer substrates -- float glass -- X ray telescope -- SiC substrates